クリーンルーム

先端技術センターにはクリーンルームが四室あり,三室について設備管理が年間利用計画,運用管理を行なっています.利用するグループは,まず設備管理ユニットに相談してください.利用グループにはクリーンルーム利用規定を遵守することを義務づけています.

クリーンルーム利用規定

クリーンルーム一覧
室名 建物・室番号 設計クリーン度 室寸法
クリーンルーム
(別名:小クリーンルーム)
開発棟(南)
109号室
クラス1,000 5m×6.6m
室内高3m
プロジェクト室2クリーンルーム
(別名:中クリーンルーム)
開発棟(南)
110号室
クラス10,000 10.9m×6.8m
室内高2.65m ブース構造
101クリーンルーム
(別名:大クリーンルーム)
開発棟(北)
101号室
クラス100,000 12m×16m
室内高9.8m 4.8tクレーン

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