特殊蒸着ユニット

IBS装置

スパッタリング成膜装置とその測定・評価のための諸装置を有し, 重力波干渉計をはじめ各種観測装置の為に光学素子を製作・提供しています. また,低損失鏡や狭帯域フィルター,大曲率鏡など特殊かつ高度な特性を持つ光学素子の製造と設計に係わる諸問題について研究しています.

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